산업기기의 자동화 및 고도화에 따라 로봇, 드론, 카메라 분야에서는 고기능화 니즈가 높아지고 있다. 특히 정밀한 동작 제어에 필요한 자기 위치·자세 고정밀화나 사진·영상의 품질 향상에 필수적인 흔들림 저감에는 가속도 3축과 각속도 3축을 동시에 계측하는 6 DoF 관성 센서가 활용된다. 또한 이러한 기기는 기존의 제한된 환경을 넘어 실내외 다양한 환경에서 사용하는 사례가 증가하고 있다. 그러나 넓은 온도 변화나 강한 진동·충격 환경에서 센서 출력(오프셋)의 변동량(드리프트)이 커지면 장시간 계측에 따른 출력 오차가 누적되어 부정확한 데이터 출력으로 이어진다. 더 나아가 치명적인 신호 오류가 발생한 경우, 제품 고장을 사전에 방지하기 위해 센서 자체가 오류를 판정하는 자기진단 기능의 니즈도 증가하고 있다. 이로 인해 저온부터 고온까지의 광범위한 온도 조건과 강한 진동·충격 하에서도 안정적으로 동작하며 오류 발생 시 자기진단 기능을 갖춘 6 DoF 관성 센서가 중요해지고 있다.

이에 주식회사 무라타 제작소는 독자적인 3D MEMS 기술과 패키지 기술을 통해 -40 ~ +110°C의 온도 범위에서 안정적으로 동작하고 진동 오차가 작으며 저노이즈로 고정밀을 구현한 본 제품을 개발했다. 이를 통해 로봇, 드론, 카메라 등 애플리케이션에서 고정밀 자기 위치·자세 추정과 안정적인 제어에 기여한다. 또한 본 제품은 산업기기용 제품이지만 차량용 품질 규격(AEC-Q100)에 근거해 시험을 실시하고 있다※. 더불어 본 제품은 ‘SCH16T’ 시리즈 공통의 자기진단 기능을 갖춰 신호 신뢰성 모니터링과 고장 검출을 지원한다. 아울러 핀 배열 및 소프트웨어 호환성을 통해 ‘SCH16T’ 시리즈 내 제품 교체가 용이해 설계 공수 절감에도 기여 가능하다.

주식회사 무라타 제작소는 앞으로도 고정밀 6DoF 관성 센서 개발에 주력해 산업 분야의 고기능화에 기여해 나갈 것이다.

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